2025年2月10日，珠海至微半導(dǎo)體零部件清洗項(xiàng)目動(dòng)工儀式在珠海高新區(qū)智能制造加速基地舉行，標(biāo)志著上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱至純科技）在華南地區(qū)的戰(zhàn)略布局邁出重要一步，有助進(jìn)一步完善珠海集成電路產(chǎn)業(yè)鏈、加快發(fā)展產(chǎn)業(yè)生態(tài)，為華南地區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展帶來(lái)新活力。
珠海至微半導(dǎo)體科技有限公司是上市公司至純科技的子公司。作為國(guó)內(nèi)集成電路領(lǐng)域領(lǐng)軍企業(yè)，至純科技主要從事半導(dǎo)體制程和廠務(wù)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)以及半導(dǎo)體零部件清洗服務(wù)，多項(xiàng)技術(shù)已達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平，年?duì)I收約40億元。
珠海至微半導(dǎo)體零部件清洗項(xiàng)目去年9月簽約落戶珠海高新區(qū)，由珠海高新區(qū)與橫琴粵澳深度合作區(qū)聯(lián)動(dòng)引進(jìn)。此次動(dòng)工的廠房總面積4200平方米，配置10級(jí)無(wú)塵車間，規(guī)劃建設(shè)4條獨(dú)立制程清洗產(chǎn)線及表面處理產(chǎn)線，預(yù)計(jì)年清洗產(chǎn)能達(dá)36萬(wàn)件。
該項(xiàng)目聚焦半導(dǎo)體晶圓廠關(guān)鍵設(shè)備的零部件精密清洗與翻修服務(wù)，通過(guò)延長(zhǎng)設(shè)備壽命、降低運(yùn)營(yíng)成本，助力晶圓廠高效生產(chǎn)。該項(xiàng)目旨在建設(shè)規(guī)?；陌雽?dǎo)體清洗工廠，建成后可形成覆蓋珠三角半導(dǎo)體晶圓廠的“2小時(shí)配套圈”，為區(qū)域半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供快速響應(yīng)服務(wù)。
2024年，珠海高新區(qū)半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)規(guī)模實(shí)現(xiàn)106億元，同比增長(zhǎng)22%。珠海高新區(qū)黨工委書(shū)記趙適劍表示，珠海至微半導(dǎo)體零部件清洗項(xiàng)目動(dòng)工，有助進(jìn)一步完善珠海集成電路產(chǎn)業(yè)鏈、加快發(fā)展產(chǎn)業(yè)生態(tài)，為廣東打造中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)“第三極”提供支撐。
廣東省集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)長(zhǎng)陳衛(wèi)表示，珠海高新區(qū)地處大灣區(qū)黃金內(nèi)灣核心區(qū)域，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展氛圍濃厚，營(yíng)商環(huán)境優(yōu)越，政務(wù)服務(wù)高效。珠海至微半導(dǎo)體零部件清洗項(xiàng)目落地動(dòng)工，將有力推動(dòng)珠海高新區(qū)半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展。
