中科芯微半導體機器人研發(fā)生產(chǎn)基地項目，2025年4月30日在沈陽中德園啟動建設，將打造國內(nèi)領先的集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的半導體機器人研發(fā)生產(chǎn)基地，致力于半導體專業(yè)設備領域的國產(chǎn)替代研發(fā)，填補國產(chǎn)替代市場的空白。
上述項目的投資方中科芯微智能裝備(沈陽)有限公司，是位于沈陽中德園的一家高新技術企業(yè)，主要專注于半導體制造核心裝備的自主研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，構建了覆蓋芯片制造前道工藝全制程的設備體系，年均推出5-10項創(chuàng)新產(chǎn)品，累計完成十余項重大科技攻關項目，成功開發(fā)出20余種高精度半導體潔凈機器人系列產(chǎn)品。突破了相關技術壁壘，在精密傳動系統(tǒng)、真空環(huán)境兼容性、納米級定位精度等關鍵技術領域取得重大進展。
上述項目的投資方中科芯微智能裝備(沈陽)有限公司，是位于沈陽中德園的一家高新技術企業(yè)，主要專注于半導體制造核心裝備的自主研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，構建了覆蓋芯片制造前道工藝全制程的設備體系，年均推出5-10項創(chuàng)新產(chǎn)品，累計完成十余項重大科技攻關項目，成功開發(fā)出20余種高精度半導體潔凈機器人系列產(chǎn)品。突破了相關技術壁壘，在精密傳動系統(tǒng)、真空環(huán)境兼容性、納米級定位精度等關鍵技術領域取得重大進展。
