2025年5月30日，河北省首臺(tái)套金剛石微波等離子體化學(xué)氣相沉積（MPCVD）高端裝備在圍場滿族蒙古族自治縣下線。
據(jù)了解，傳統(tǒng)金剛石制備技術(shù)長期依賴進(jìn)口裝備，成本高、工藝受限。由河北投實(shí)晶鎧科技有限公司自主研發(fā)的MPCVD高端裝備通過優(yōu)化微波等離子體參數(shù)，將金剛石單晶沉積速率提升，達(dá)到國際領(lǐng)先水平。
“我們依托圍場富集的綠電資源，采用綠電耦合技術(shù)，設(shè)備綜合能耗降低40%，可生產(chǎn)出純度達(dá)99.999%的高品質(zhì)金剛石，滿足半導(dǎo)體級(jí)應(yīng)用需求。裝備可連續(xù)作業(yè)2000小時(shí)無故障，為規(guī)模化生產(chǎn)奠定基礎(chǔ)，真正實(shí)現(xiàn)了技術(shù)自主可控和‘綠電造綠鉆’零碳閉環(huán)生產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)效益與環(huán)境效益雙贏?！焙颖蓖秾?shí)晶鎧科技有限公司技術(shù)總監(jiān)吳偉慶說。
金剛石作為半導(dǎo)體終極材料，具有硬度高、耐腐蝕性強(qiáng)、導(dǎo)熱性能優(yōu)異等特性?！叭蚪饎偸b備市場正在以年均25%增速擴(kuò)張，而傳統(tǒng)工業(yè)制造面臨純度低和能耗高等技術(shù)短板，MPCVD技術(shù)恰好破解了這些難題?！背械聞P捷新能源科技有限公司總經(jīng)理申偉東說，凱捷公司決定與投實(shí)晶鎧公司深度合作，利用園區(qū)資源優(yōu)勢，實(shí)現(xiàn)綠電高效利用，綠色材料反哺，綠色能源價(jià)值躍升。
圍場作為“國家首批綠色能源示范縣”，清潔能源并網(wǎng)總量已達(dá)748.81萬千瓦。近年來，圍場積極布局金剛石產(chǎn)業(yè)，通過精準(zhǔn)招引與深度合作，對(duì)接清華大學(xué)等知名院所，著力打造“釩鋰電池+氫能利用+裝備制造”特色產(chǎn)業(yè)，因地制宜培育新質(zhì)生產(chǎn)力，聚焦MPCVD設(shè)備及高端金剛石制造領(lǐng)域，創(chuàng)新提出“點(diǎn)石成金”“陽光制綠氫”“綠電造綠鉆”等新能源消納特色方案，將清潔電力與玄武巖加工、光敏半導(dǎo)體耦合制氫、半導(dǎo)體級(jí)金剛石制備等產(chǎn)業(yè)深度融合，實(shí)現(xiàn)資源就地轉(zhuǎn)化，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)集群化、高端化發(fā)展。
