2025年8月15日，國(guó)產(chǎn)首臺(tái)28納米關(guān)鍵尺寸電子束量測(cè)量產(chǎn)設(shè)備在無(wú)錫成功出機(jī)。
電子束晶圓量檢測(cè)設(shè)備是芯片制造領(lǐng)域除光刻機(jī)外，技術(shù)難度最大、重要程度最高的設(shè)備之一。此次出機(jī)的28納米關(guān)鍵尺寸電子束量測(cè)量產(chǎn)設(shè)備，由無(wú)錫亙芯悅科技有限公司自主研制，在電子光學(xué)系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、電子電路和軟件等方向?qū)崿F(xiàn)了完全自研，能有效解決我國(guó)半導(dǎo)體量檢測(cè)領(lǐng)域關(guān)鍵核心難題，對(duì)于填補(bǔ)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)空白、提高國(guó)產(chǎn)芯片高端裝備自主可控水平具有里程碑意義。
在當(dāng)天活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)，亙芯悅科技、上海交通大學(xué)自動(dòng)化與感知學(xué)院合作共建的電子光學(xué)AI平臺(tái)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室同步揭牌，雙方將攜手在技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)應(yīng)用、科技人才培養(yǎng)等領(lǐng)域開(kāi)展全面合作，通過(guò)貫通“理論突破—工藝驗(yàn)證—產(chǎn)線落地”全鏈條，為后續(xù)設(shè)備創(chuàng)新研發(fā)注入新動(dòng)能。
無(wú)錫作為全國(guó)第二個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值過(guò)千億元的城市，近年來(lái)創(chuàng)新出臺(tái)集成電路高質(zhì)量發(fā)展36條措施，設(shè)立總規(guī)模50億元的江蘇無(wú)錫集成電路產(chǎn)業(yè)專(zhuān)項(xiàng)基金，吸引國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金在錫投資超百億元，先后獲批國(guó)家集成電路設(shè)計(jì)無(wú)錫產(chǎn)業(yè)化基地、國(guó)家微電子高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)基地、國(guó)家集成電路特色工藝及封裝測(cè)試創(chuàng)新中心。去年，全市集成電路規(guī)上企業(yè)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值2512億元、同比增長(zhǎng)9.3%；入選中國(guó)獨(dú)角獸企業(yè)名單新增數(shù)量全省第一，且均為集成電路領(lǐng)域企業(yè)。今年1—6月，全市集成電路規(guī)上企業(yè)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值1315億元，同比增長(zhǎng)14.2%。
