近日，位于無錫高新區(qū)的無錫卓?？萍脊煞萦邢薰緦?shí)現(xiàn)了自主研發(fā)的第100臺(tái)半導(dǎo)體量檢測設(shè)備下線，裝車發(fā)往一家芯片制造企業(yè)。
無錫卓?？萍脊煞萦邢薰境闪⒂?009年，是一家專注于半導(dǎo)體前道量檢測設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)的國家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè)。數(shù)據(jù)顯示，2020年至2024年，該公司秉承“修研并舉，雙線發(fā)展”的發(fā)展模式，營收從數(shù)千萬元增長至4.65億元?；仡檹摹?”到“100”的研發(fā)之路，卓?？萍家晃缓诵难邪l(fā)人員不禁感慨：“5年來，我們的研發(fā)團(tuán)隊(duì)從初始創(chuàng)立，發(fā)展到如今數(shù)十人的規(guī)模，完成了應(yīng)力測量設(shè)備、方塊電阻測量設(shè)備、反射光譜膜厚測量儀、無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備、探針式表面輪廓儀等設(shè)備的自主研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。此次第100臺(tái)自研設(shè)備的下線，展現(xiàn)了卓海科技在高端半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的研發(fā)實(shí)力和創(chuàng)新底氣?！?/p>
據(jù)介紹，半導(dǎo)體量檢測設(shè)備被稱作保障芯片良品率的“質(zhì)量閘門”，其技術(shù)水平直接決定半導(dǎo)體制造的質(zhì)量控制能力，也是衡量半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化程度的關(guān)鍵指標(biāo)之一。根據(jù)權(quán)威數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2024年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到143.5億美元，在制造設(shè)備中占比約13%。半導(dǎo)體制造工藝向更先進(jìn)制程邁進(jìn)，直接推動(dòng)了制造過程中檢測設(shè)備與量測設(shè)備的技術(shù)升級(jí)和市場需求的持續(xù)增長。
