近日，位于無(wú)錫高新區(qū)的無(wú)錫卓?？萍脊煞萦邢薰緦?shí)現(xiàn)了自主研發(fā)的第100臺(tái)半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備下線(xiàn)，裝車(chē)發(fā)往一家芯片制造企業(yè)。
無(wú)錫卓?？萍脊煞萦邢薰境闪⒂?009年，是一家專(zhuān)注于半導(dǎo)體前道量檢測(cè)設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)的國(guó)家級(jí)專(zhuān)精特新“小巨人”企業(yè)。數(shù)據(jù)顯示，2020年至2024年，該公司秉承“修研并舉，雙線(xiàn)發(fā)展”的發(fā)展模式，營(yíng)收從數(shù)千萬(wàn)元增長(zhǎng)至4.65億元?；仡檹摹?”到“100”的研發(fā)之路，卓?？萍家晃缓诵难邪l(fā)人員不禁感慨：“5年來(lái)，我們的研發(fā)團(tuán)隊(duì)從初始創(chuàng)立，發(fā)展到如今數(shù)十人的規(guī)模，完成了應(yīng)力測(cè)量設(shè)備、方塊電阻測(cè)量設(shè)備、反射光譜膜厚測(cè)量?jī)x、無(wú)圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備、探針式表面輪廓儀等設(shè)備的自主研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。此次第100臺(tái)自研設(shè)備的下線(xiàn)，展現(xiàn)了卓海科技在高端半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的研發(fā)實(shí)力和創(chuàng)新底氣。”
據(jù)介紹，半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備被稱(chēng)作保障芯片良品率的“質(zhì)量閘門(mén)”，其技術(shù)水平直接決定半導(dǎo)體制造的質(zhì)量控制能力，也是衡量半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化程度的關(guān)鍵指標(biāo)之一。根據(jù)權(quán)威數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2024年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到143.5億美元，在制造設(shè)備中占比約13%。半導(dǎo)體制造工藝向更先進(jìn)制程邁進(jìn)，直接推動(dòng)了制造過(guò)程中檢測(cè)設(shè)備與量測(cè)設(shè)備的技術(shù)升級(jí)和市場(chǎng)需求的持續(xù)增長(zhǎng)。
