2025年11月14日，深圳清溢光電股份有限公司平板顯示及半導(dǎo)體用掩膜版生產(chǎn)基地投產(chǎn)儀式在佛山市南海區(qū)丹灶鎮(zhèn)舉行，總投資35億元的兩大生產(chǎn)基地正式投產(chǎn)，標(biāo)志著清溢光電在高精度掩膜版領(lǐng)域的科創(chuàng)布局實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵突破。
“這兩個(gè)項(xiàng)目的投產(chǎn)，是清溢光電的里程碑，更是我們與佛山南海共謀發(fā)展的新起點(diǎn)?！鼻逡绻怆娍偨?jīng)理姜巍表示。作為國內(nèi)掩膜版領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，清溢光電此次投產(chǎn)的兩大基地，以全鏈條技術(shù)自主與細(xì)分領(lǐng)域突破，展現(xiàn)出強(qiáng)勁的科創(chuàng)競爭力。
其中，高精度平板顯示掩膜版基地總投資20億元，分三期建設(shè)，主要生產(chǎn)8.6代及以下高精度FPD掩膜版，產(chǎn)品覆蓋a-Si（非晶硅）、LTPS（低溫多晶硅）、AMOLED（柔性有機(jī)發(fā)光顯示）等平板顯示領(lǐng)域，尤其針對AMOLED用高精度掩膜版需求，可填補(bǔ)國內(nèi)空白，實(shí)現(xiàn)高端掩膜版國產(chǎn)化替代。
高端半導(dǎo)體掩膜版基地總投資15億元，專注180nm-28nm制程半導(dǎo)體掩膜版生產(chǎn)，有望打破境外領(lǐng)先廠商的壟斷格局，助力解決我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈“卡脖子”問題。今年11月，清溢光電佛山高端半導(dǎo)體掩膜版生產(chǎn)基地引入佛山第一臺(tái)電子束光刻機(jī)，電子束光刻機(jī)是制造尖端半導(dǎo)體掩膜版的“王牌”設(shè)備，它的入駐正式開啟了佛山高端半導(dǎo)體用掩膜版的制造歷史。
市委常委、統(tǒng)戰(zhàn)部部長丁錫豐表示，清溢光電在掩膜版行業(yè)位居國內(nèi)第一、全球第四，是佛山發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“強(qiáng)鏈補(bǔ)鏈”的關(guān)鍵一環(huán)，技術(shù)實(shí)力雄厚，創(chuàng)新能力突出，期待清溢光電帶動(dòng)更多上下游配套企業(yè)集聚，助力佛山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展更上一層樓。
