2026年1月8日，上海櫟智科技（二期）工廠舉行正式投產(chǎn)剪彩儀式。作為扎根松江集成電路產(chǎn)業(yè)集群的重要載體，該工廠的投產(chǎn)將進(jìn)一步完善區(qū)域半導(dǎo)體裝備及核心零部件產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)。
新工廠定位為先進(jìn)半導(dǎo)體裝備制造基地，配備高標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房、全自動(dòng)焊接設(shè)備及各類精密檢測(cè)儀器，同步搭建核心零部件功能驗(yàn)證測(cè)試平臺(tái)。工廠核心業(yè)務(wù)聚焦特氣輸送系統(tǒng)設(shè)備、電子特氣充裝設(shè)備、化學(xué)品輸送系統(tǒng)設(shè)備、電子化學(xué)材料成套設(shè)備及非標(biāo)定制設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)。產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造全流程關(guān)鍵環(huán)節(jié)，對(duì)提升半導(dǎo)體制造工藝穩(wěn)定性與良率具有重要支撐作用。
