2026年3月18日,先鋒精科半導(dǎo)體先進(jìn)制程核心工藝器件研發(fā)制造項(xiàng)目開(kāi)工儀式在靖江經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)舉行。

江蘇先鋒精密科技股份有限公司是靖江本土培育的國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè),于2024年成功登陸科創(chuàng)板。多年來(lái),企業(yè)專注于半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件領(lǐng)域,聚焦半導(dǎo)體刻蝕和薄膜沉積設(shè)備關(guān)鍵精密零部件的研發(fā)與生產(chǎn),逐步實(shí)現(xiàn)從單點(diǎn)技術(shù)突破到全鏈條能力構(gòu)建的發(fā)展跨越。
作為國(guó)內(nèi)少數(shù)具備7nm及以下先進(jìn)制程關(guān)鍵零部件量產(chǎn)能力的供應(yīng)商,先鋒精科已成為國(guó)內(nèi)集成電路高端工藝裝備龍頭企業(yè)的重要合作伙伴,在國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備向先進(jìn)制程升級(jí)的過(guò)程中,承擔(dān)著關(guān)鍵零部件供應(yīng)的支撐作用,為產(chǎn)業(yè)鏈自主可控提供了重要保障。
此次開(kāi)工的半導(dǎo)體先進(jìn)制程核心工藝器件研發(fā)制造項(xiàng)目,是先鋒精科響應(yīng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求、搶抓市場(chǎng)機(jī)遇的重要布局,計(jì)劃總投資8億元,將進(jìn)一步強(qiáng)化企業(yè)在半導(dǎo)體關(guān)鍵零部件領(lǐng)域的產(chǎn)能與技術(shù)優(yōu)勢(shì)。
項(xiàng)目將重點(diǎn)推進(jìn)三大核心板塊建設(shè):半導(dǎo)體先進(jìn)制程核心工藝金屬器件擴(kuò)建、半導(dǎo)體先進(jìn)制程核心工藝非金屬材料及器件研發(fā)生產(chǎn),以及半導(dǎo)體設(shè)備用陶瓷靜電吸盤(pán)研發(fā)。通過(guò)技術(shù)攻關(guān)與產(chǎn)能升級(jí),企業(yè)將聚焦高價(jià)值關(guān)鍵功能器件及配套組件,突破相關(guān)技術(shù)瓶頸,拓展市場(chǎng)覆蓋范圍,提升核心競(jìng)爭(zhēng)力。
該項(xiàng)目的開(kāi)工,是靖江市發(fā)揮龍頭企業(yè)“鏈主”效應(yīng)、加快半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的具體實(shí)踐,將進(jìn)一步推動(dòng)當(dāng)?shù)匕雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群化發(fā)展,為因地制宜培育新質(zhì)生產(chǎn)力、助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控注入新的動(dòng)力。