2月18日，中科院蘇州納米所納米真空互聯(lián)實驗站二期建設項目在蘇州順利通過總體驗收，已初步建成國際先進的真空互聯(lián)綜合實驗裝置。
中科院蘇州納米所納米真空互聯(lián)實驗站始建于2014年，是世界首個以國家重大科技基礎設施為標準建設的重大科學裝置。面向國家戰(zhàn)略需求和科學前沿重大問題，實驗站開創(chuàng)了一條變革性的技術路線，其將材料生長、器件工藝、測試分析等功能通過超高真空管道有機互聯(lián)，使得傳統(tǒng)常規(guī)超潔凈環(huán)境下獨立分散設備難以實現(xiàn)的材料本征特性、原子級精準調(diào)控、器件原位制造等局限實現(xiàn)突破。
中國科學院蘇州納米所所務委員、實驗站主任張珽研究員介紹，目前，長達203米的真空互聯(lián)管道中，近40臺大型工藝設備已實現(xiàn)互聯(lián)，配套的材料制備與工藝、微觀機理準原位分析、跨尺度性能測試、氣氛可控和真空互聯(lián)控制與對接系統(tǒng)等五大模塊平臺全部建成。實驗站組建的一支200余人的高水平人才隊伍，在半導體材料、量子材料、能源與催化材料、高溫超導材料、有機半導體材料及新興納米材料等先進材料和半導體核心器件領域已取得一定的國際影響力。
中國科學院蘇州納米所副所長、黨委副書記王強斌表示，未來，納米真空互聯(lián)實驗站將繼續(xù)向建設成國際上最先進的納米器件與材料綜合研究系統(tǒng)和公共實驗平臺目標邁進，圍繞納米科技領域重要前瞻性戰(zhàn)略布局，為江蘇省乃至長三角地區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供強力支撐。
